PRODUCT
產品
主要用途
適用于半導體制造裝置冷卻水生產線
標準參數
| 測定流體 | 全部液體 | ||
|---|---|---|---|
| 流量范圍 | 水 | 最小0.1 ~ 1 L/min | |
| 最大1 ~ 10 L/min | |||
| 有效刻度范圍 | 10：1 | ||
| 有效指示精度 | ±10％ F.S. | ||
| 最高使用壓力 | 1.0MPa | ||
| 最高使用溫度 | 60℃ | ||
| 材質構成 | 本體接液部 | 亞克力 | |
| 錐管 | 亞克力 | ||
| 墊圈 | NBR（標準） | ||
| FPM,CR（可選） | |||
| 接手 | C3604（標準） | ||
| SUS304, SUS316（可選） | |||
| 連接方式 | 標準 | Rc3/8 （標準） | |
| 可選 | 3/8SW，NPT3/8等 | ||
| 安裝方法 | 標準 | 面板前安裝螺絲固定 | |
| 重量（標準型） | 約0.3kg | ||
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